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04-27
2025
原油期货开户 芯碁微装获得发明专利授权:“直写式曝光设备及其控制方法”_工位_导轨_工件
证券之星消息,根据天眼查APP数据显示芯碁微装(688630)新获得一项发明专利授权,专利名为“直写式曝光设备及其控制方法”,专利申请号为CN202211335604.2原油期货开户,授权日为2025年4月25日。 专利摘要:本发明公开了一种直写式曝光设备及直写式曝光设备的控制方法,其中,底座上设置有沿长度方向延伸且沿宽度方向排布的第一导轨和第二导轨,沿第一导轨方向依次定义第一上下板工位、第一对准工位、第一曝光工位、第二对准工位和第二上下板工位,沿第二导轨方向依次定义第三上下板工位、第三对准工...
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